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2018.12~至今,上海交通大学,电子信息与电气工程学院,研究员
2013.12~2018.11,上海交通大学,电子信息与电气工程学院,副研究员
2011.11~2013.11,日本国立产业技术综合研究所(AIST),JSPS博士后特别研究员(JSPS Postdoctoral Fellow)
2010.06~2013.11,上海交通大学,微纳科学技术研究院,助理研究员
2006.04~2010.03,上海交通大学,微纳科学技术研究院,博士
2003.07~2005.09,哈尔滨工程大学,机电工程学院,硕士
1999.09 ~2003.07,哈尔滨工程大学,机电工程学院,本科
1982年4月生,2003年本科毕业于哈尔滨工程大学机电工程学院,并被保送继续攻读硕士学位,获得材料物理与化学专业硕士学位,2006年入上海交通大学微电子学与固体电子学专业攻读博士学位,2010年3月毕业获得工学博士学位,并留校任教继续从事相关科研工作。目前研究工作主要包括MEMS惯性开关器件、PowerMEMS、封装以及微纳柔性3D集成传感技术。先后主持承担国家自然科学青年基金、面上项目,国家“863”项目子课题,国家重点研发计划课题,上海市“浦江人才计划”项目,以及国家级重点实验室开放基金等项目。
2011-2013年期间,受日本学术振兴会(JSPS)资助赴日本国立产业技术综合研究所(AIST)从事博士后(JSPS Postdoctoral Fellow)工作,研究期间利用3D立体曝光技术,成功开发了在微细石英圆管、毛细管、以及柔性纤维表面制作高精度、高分辨率的多层多功能微型传感器技术和柔性单光纤医用内窥镜,同时,结合该研究中心在纳米压印技术上的国际领先优势,完成了能够充分提高信号灵敏度的集成纳米压印的微型MEMS柔性血糖传感器开发,为柔性电子纤维编织提供了重要的技术支撑,申请日本发明专利1项。
近年来,在微纳机电系统技术领域著名期刊和国际会议IEEE-JMEMS, JMM,Lab Chip, IEEE Trans. Electron Devices, Sensors and Actuators, IEEE MEMS, TRANSDUCERS, IEEE SENSORS, μTAS等发表学术论文100多篇,并多次做大会口头报告和邀请报告,申请中国发明专利30余项,担任多个SCI期刊审稿人。2010年参与组织首届上海交通大学—瑞典ICA(Ingvar Carlsson Award)双边学术研讨会,并作为纳米信息材料分会主席,此外,还担任IEEE INEC2018、IMCO 2018和IEEE NEMS2019等多个国际会议分会场主席,目前为Micro and Nanosystems期刊编委。
2009年度获得中国机械工程学会优秀论文奖,目前为IEEE高级会员(IEEE Senior Member)、中国微米纳米技术学会(CSMNT)高级会员、中国仪器仪表学会微纳器件与系统技术分会-理事,2014年入选上海市“浦江人才计划”(A类),2016年获得上海市“技术发明一等奖”。
招收学生的范围:
材料、机械、物理、化学、半导体、电子信息和生物医学等专业。
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1. 微机电系统(MEMS):微纳传感器与执行器
2. MEMS惯性开关器件、物联网近零功耗振动传感器及其相关应用
3. 微纳多元兼容集成制造技术(MECMPs)
4. 微纳柔性传感技术(柔性纤维编织、柔性电子皮肤等)
微机电系统(MEMS)的设计、仿真与相关工艺研究
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