Modeling and simulation of the squeeze film effect on the MEMS structures.
发布时间：2020-06-09
发表刊物：IEEE, 2005 ASIA-PACIFIC MICROWAVE CONFERENCE PROCEEDINGS
ISSN号：ISSN: 0-7803-9433-X
是否译文：否
发表时间：2005-12-01
论文类型：会议论文