上海交大研究生院主页平台管理系统彭林法--中文主页-- Study on bubble defects in roll-to-roll UV imprinting process for micropyramid arrays. I. Experiments

彭林法

研究员

所在单位：机械与动力工程学院

职称：研究员

电子邮箱：penglinfa@sjtu.edu.cn

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Study on bubble defects in roll-to-roll UV imprinting process for micropyramid arrays. I. Experiments

发布时间：2020-06-12

发表刊物：Journal of Vacuum Science and Technology B

ISSN号：1071-1023

是否译文：否

发表时间：2016-02-01

论文类型：期刊论文

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