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所在单位：
机械与动力工程学院
职称：
副研究员
电子邮箱：
jinhuaqj@sjtu.edu.cn
教师拼音名称：
qijin
出生日期：
1983-01-21
性别：
男
在职信息：
在职
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>> 国产光刻设备和光...
国产光刻设备和光刻工艺反馈机制研究
点击次数：
负责人姓名：
戚进
开始日期：
2019-01-01
结项日期：
2020-06-01
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