上海交大研究生院主页平台管理系统王新昶--中文主页-- Measurement and Calibration of Substrate Surface Temperature in Hot Filament Chemical Vapor Deposition

王新昶

副教授

所在单位：机械与动力工程学院

职称：副教授

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Measurement and Calibration of Substrate Surface Temperature in Hot Filament Chemical Vapor Deposition

发布时间：2024-01-30

发表刊物：Measurement

ISSN号：1556-5068

是否译文：否

发表时间：2022-12-01

论文类型：期刊论文

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