上海交大研究生院主页平台管理系统杨卓青--中文主页-- Fabrication of High Aspect-Ratio Microstructure on Improved Titanium Substrate with Excellent Adhesive Strength and SU-8 Photoresist

杨卓青

研究员

所在单位：电子信息与电气工程学院

学科：

职称：研究员

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Fabrication of High Aspect-Ratio Microstructure on Improved Titanium Substrate with Excellent Adhesive Strength and SU-8 Photoresist

发布时间：2020-05-08

发表刊物：2019 20th International Conference On Solid-state Sensors, Actuators And Microsystems And Eurosensors Xxxiii, Transducers 2019 And Eurosensors Xxxiii

是否译文：否

发表时间：2019-06-01

论文类型：会议论文

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