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Title of Award:高性能压电微器件及其应用
Granted by:上海市人民政府
Level of Award:省(自治区、直辖市)级
Date of Award:2013-03-01
Pre One:新型高性能谐振式陀螺与系统关键技术及应用
Next One:非硅MEMS技术及其应用
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