上海交大研究生院主页平台管理系统李铸国--中文主页-- Structure and properties of Ti–Si–N films prepared by ICP assisted magnetron sputtering

李铸国

教授

所在单位：材料科学与工程学院

学科：材料加工工程(080503)

职称：教授

电子邮箱：lizg@sjtu.edu.cn

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Structure and properties of Ti–Si–N films prepared by ICP assisted magnetron sputtering

发布时间：2020-06-09

发表刊物：Surface and Coatings Technology

ISSN号：0257-8972

是否译文：否

发表时间：2005-04-01

论文类型：期刊论文

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