上海交大研究生院主页平台管理系统张卫平--中文主页-- The silicon nitride mask for isotropic wet etching

张卫平

研究员

所在单位：电子信息与电气工程学院

学科：

职称：研究员

电子邮箱：zhangwp@sjtu.edu.cn

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论文成果

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The silicon nitride mask for isotropic wet etching

发布时间：2023-02-14

发表刊物：Bandaoti Guangdian/Semiconductor Optoelectronics

ISSN号：1001-5868

是否译文：否

发表时间：2016-08-01

论文类型：期刊论文

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