上海交大研究生院主页平台管理系统张卫平--中文主页-- A New Self-assembly Metal CMG Discriminator by Multi-exposure LIGA Like Process and Sacrificial Layer Process

张卫平

研究员

所在单位：电子信息与电气工程学院

学科：

职称：研究员

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A New Self-assembly Metal CMG Discriminator by Multi-exposure LIGA Like Process and Sacrificial Layer Process

发布时间：2020-06-09

发表刊物：Journal of Dong Hua University

ISSN号：ISSN1000-1484

是否译文：否

发表时间：2005-08-01

论文类型：期刊论文

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