张卫平

研究员

所在单位：电子信息与电气工程学院

学科：

职称：研究员

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论文成果

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LIGA技术制造微齿轮中X光掩模板图形的CAD设计

发布时间：2020-06-09

发表刊物：《微细加工技术》

ISSN号：ISSN1003-8213

是否译文：否

发表时间：2000-01-01

论文类型：期刊论文

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