Electromechanical coupling analysis for MEMS featured by stepped-height structure and concentrated load
发布时间：2020-06-09
发表刊物：Microsyst Technol SCI/EI全文收录期刊
ISSN号：ISSN:0946-7076
是否译文：否
发表时间：2009-01-01
论文类型：期刊论文