Modeling and simulation of levitation control for a micromachined electrostatically suspended gyroscope
发布时间：2020-06-09
发表刊物：Microsyst Technol（SCI/EI全文收录源）
ISSN号：ISSN:0946-7076
是否译文：否
发表时间：2009-11-01
论文类型：期刊论文