课程介绍：<p class="MsoNormal" style="text-align: left;vertical-align: middle;" align="left">    <span style="">此课程是为微电子专业本科生开设的一门专业综合训练选修课，帮助学生将《微机电系统基础》中所学的理论知识通过具体实践应用以达到消化吸收的目的，并培养学生解决实际问题的能力。课程介绍微机电系统的材料、设计、工艺、检测控制、系统集成的技术，让学生全面了解微机电系统的材料、设计制造、检测控制的重要性与基本方法，掌握微机电系统全流程基本工具和技术。</span><span></span></p><span style="font-size: 10.5pt;">教学目标：通过本课程学习，使学生了微机电系统的设计制造测试的方法、流程和技术，掌握典型微机电系统的设计制造和控制技术，增强学生对微机电系统的理解能力。</span>

考试形式：大作业

开课学年：2022-2023

开课学期：春学期

课程号：(2022-2023-2)-MST3321-01

学分：2.0

课程类型：本科生课程

是否精品课程：否

选课人数：14

课时：32.0