非硅MEMS技术及其应用
发布时间：2020-09-29
所在单位：上海交通大学
出版单位：上海交通大学出版社
出版地：上海
学校署名：陈文元，张卫平，陈迪
著作类别：专著
出版社级别：地方出版社
学科门类：工学
ISBN号：978-7-313-12525-5
是否译成外文：否
出版日期：2015-03-18
所在单位：上海交通大学
出版单位：上海交通大学出版社
出版地：上海
学校署名：陈文元，张卫平，陈迪
著作类别：专著
出版社级别：地方出版社
学科门类：工学
ISBN号：978-7-313-12525-5
是否译成外文：否
出版日期：2015-03-18
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