研究员
所在单位：电子信息与电气工程学院
学科：
职称：研究员
电子邮箱：zhangwp@sjtu.edu.cn
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项目参与人员：张卫平
学科门类：半导体技术
结项日期：2022-03-01
开始日期：2019-04-01
上一条：电磁驱动静电检测体声波谐振三轴微陀螺及其制备方法
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