电磁驱动静电检测体声波谐振三轴微陀螺及其制备方法
发布时间：2021-01-28
负责人姓名：张卫平
学科门类：电子与通信技术其他学科
结项日期：2020-04-01
开始日期：2020-02-01
负责人姓名：张卫平
学科门类：电子与通信技术其他学科
结项日期：2020-04-01
开始日期：2020-02-01
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