静电锁定MEMS惯性振动阈值传感器研究（教育部装备预研联合基金-青年人才）
发布时间：2020-05-07
负责人姓名：杨卓青
项目分类：自然科学
项目级别：国家级
学科门类：机械制造工艺与设备
结项日期：2017-12-01
开始日期：2016-01-01
负责人姓名：杨卓青
项目分类：自然科学
项目级别：国家级
学科门类：机械制造工艺与设备
结项日期：2017-12-01
开始日期：2016-01-01
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