基于多弹簧-质量系统的步进吸合静电锁定MEMS振动阈值传感器研究
发布时间：2020-05-07
负责人姓名：杨卓青
学科门类：半导体技术
结项日期：2023-12-01
开始日期：2020-01-01
负责人姓名：杨卓青
学科门类：半导体技术
结项日期：2023-12-01
开始日期：2020-01-01
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