多向振动阈值传感器设计及其纳微柔性电极接触增强机制研究
发布时间：2020-05-07
负责人姓名：杨卓青
学科门类：半导体技术
结项日期：2015-12-01
开始日期：2013-01-01
负责人姓名：杨卓青
学科门类：半导体技术
结项日期：2015-12-01
开始日期：2013-01-01
沪ICP备05052060 版权所有©上海交通大学
访问人数： | 开通时间：--
最近更新时间：--