A surface-micromachining-based inertial micro-switch with compliant cantilever beam as movable electrode for enduring high shock and prolonging contact time
发布时间：2020-06-12
发表刊物：Applied Surface Sciences（IF: 4.439）
ISSN号：0169-4332
是否译文：否
发表时间：2016-11-01
论文类型：期刊论文