上海交大研究生院主页平台管理系统杨卓青--中文主页-- A Heterogeneous Integrated MEMS Inertial Switch With Compliant Cantilevers Fixed Electrode and Electrostatic Locking to Realize Stable On-State

杨卓青

研究员

所在单位：电子信息与电气工程学院

学科：

职称：研究员

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A Heterogeneous Integrated MEMS Inertial Switch With Compliant Cantilevers Fixed Electrode and Electrostatic Locking to Realize Stable On-State

发布时间：2020-05-08

发表刊物：IEEE Journal of Microelectromechanical Systems

ISSN号：1057-7157

是否译文：否

发表时间：2019-09-01

论文类型：期刊论文

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