上海交大研究生院主页平台管理系统杨卓青--中文主页-- A Laterally Driven MEMS Inertial Switch With Double-Layer Suspended Springs for Improving Single-Axis Sensitivity

杨卓青

研究员

所在单位：电子信息与电气工程学院

学科：

职称：研究员

电子邮箱：yzhuoqing@sjtu.edu.cn

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A Laterally Driven MEMS Inertial Switch With Double-Layer Suspended Springs for Improving Single-Axis Sensitivity

发布时间：2020-05-08

发表刊物：IEEE Transactions On Components Packaging And Manufacturing Technology

ISSN号：2156-3950

是否译文：否

发表时间：2018-10-01

论文类型：期刊论文

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