杨卓青

研究员

所在单位：电子信息与电气工程学院

学科：

职称：研究员

电子邮箱：yzhuoqing@sjtu.edu.cn

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  • [ 1 ] 1. 微机电系统（MEMS）：微纳传感器与执行器
    2. MEMS惯性开关器件、物联网近零功耗振动传感器及其相关应用
    3. 微纳多元兼容集成制造技术（MECMPs）
    4. 微纳柔性传感技术（柔性纤维编织、柔性电子皮肤等）
  • [ 2 ] 微机电系统（MEMS）的设计、仿真与相关工艺研究

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