- [21] 一种新的用于信息安全的MEMS强链2003/06/01-2004/12/01
- [22] 毫米尺度惯性级可控“势能阱”永磁转子自稳悬浮新概念MEMS微陀螺的研究 2005/01/01-2007/12/01
- [23] 用于信息安全MEMS强链应用研究 2005/07/01-2005/12/01
- [24] 2007年上海市人才发展基金资助计划2007/12/01-2008/12/01
- [25] 基于MEMS的磁阿基米德反磁势阱钳生物微操纵与芯片2009/01/01-2011/12/01
- [26] 机器苍蝇胸腔、翅膀的MEMS加工及装配方法2010/06/01-2011/03/01
- [27] 微流控芯片加工与优化2011/08/01-2012/08/01
- [28] GC34100202014/01/01-2014/12/01
- [29] 智能仿生昆虫飞行系统飞行控制与机电一体化关键技术研究2019/09/01-2021/08/01
- [30] 电磁驱动静电检测体声波谐振三轴微陀螺及其制备方法2020/02/01-2020/04/01