Simulation, fabrication and characterization of an all-metal contact-enhanced triaxial inertial microswitch with low axial disturbance
发布时间：2020-06-12
发表刊物：Sensors and Actuators A: Physical （IF: 2.311）
ISSN号：0924-4247
是否译文：否
发表时间：2014-12-01
论文类型：期刊论文