上海交大研究生院主页平台管理系统杨卓青--中文主页-- A Customized Nonlinear Micro-Flexure for Extending the Stable Travel Range of MEMS Electrostatic Actuator

杨卓青

研究员

所在单位：电子信息与电气工程学院

学科：

职称：研究员

电子邮箱：yzhuoqing@sjtu.edu.cn

教师主页二维码

手机版

常用链接

论文成果

中文主页 - 科学研究 - 论文成果

A Customized Nonlinear Micro-Flexure for Extending the Stable Travel Range of MEMS Electrostatic Actuator

发布时间：2020-05-08

发表刊物：Journal Of Microelectromechanical Systems

ISSN号：1057-7157

是否译文：否

发表时间：2019-04-01

论文类型：期刊论文

上一条：Enhanced adhesive strength between SU-8 photoresist and titanium substrate by an improved anodic oxidation method for high aspect-ratio microstructures

下一条：Graphene/PDMS composite microstructure for pressure sensor application by 3D printing

沪ICP备05052060 版权所有©上海交通大学

访问人数： | 开通时间：--

最近更新时间：--