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紫外光-光刻电铸成型（UV-LIGA）规模化制造技术（863计划--子课题）, 自然科学-2018/12/01
2020/05/07
XXX系统实用化关键技术（瓶颈项目--子课题）, 自然科学-2017/12/01
2020/05/07
XXX的MEMS振动阈值开关研究（GF重点学科实验室基金）, 自然科学-2016/09/01
2020/05/07
基于大角度倾斜线圈电磁驱动的单光纤超细医用内窥镜的研制, 自然科学-2016/06/01
2020/05/07
专利实施许可合同-苏州天孚光通信股份有限公司（ZL200510027580.4）-2019/12/01
2020/05/07
多向振动阈值传感器设计及其纳微柔性电极接触增强机制研究-2015/12/01
2020/05/07
多向振动阈值传感器的集成设计及其纳微柔性电极接触增强机制研究-2015/12/01
2020/05/07
XXXX3D集成基础研究（973子项目）-2016/08/01
2020/05/07
国家自然科学基金合作协议书-2012/10/01
2020/05/07
XXXX用三轴惯性触发微系统的集成制造技术-2015/09/01
2020/05/07
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