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上海市非硅微納集成制造专业技术服务平台-2020/03/01
2020/05/07
基于MEMS技术的人体平衡能力评估与训练系统的研究与应用-2019/12/01
2020/05/07
静电锁定MEMS惯性振动阈值传感器研究(教育部装备预研联合基金-青年人才), 自然科学-2017/12/01
2020/05/07
基于双自由度高阶共振模态的大扫描角MEMS单光纤医用内窥镜的研究-2019/12/01
2020/05/07
基于双自由度高阶共振模态的大扫描角MEMS单光纤医用内窥镜的研究(自然基金面上项目), 自然科学-2019/12/01
2020/05/07
应用于物联网振动监测的超低功耗单片集成三轴MEMS惯性开关研究-2018/12/01
2020/05/07
系统设计测试委托合同书-2016/06/01
2020/05/07
XXX机构的集成设计与微加工研究(GF重点实验室基金), 自然科学-2017/07/01
2020/05/07
XXX用MEMS惯性开关技术(GF创新转化项目), 自然科学-2018/05/01
2020/05/07
紫外光-光刻电铸成型(UV-LIGA)规模化制造技术(863计划)-2018/12/01
2020/05/07
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