上海交大研究生院主页平台管理系统杨卓青--中文主页-- A laterally driven MEMS inertial switch with double-layer suspended springs for improving single-axis sensitivity

杨卓青

研究员

所在单位：电子信息与电气工程学院

学科：

职称：研究员

电子邮箱：yzhuoqing@sjtu.edu.cn

教师主页二维码

手机版

常用链接

论文成果

中文主页 - 科学研究 - 论文成果

A laterally driven MEMS inertial switch with double-layer suspended springs for improving single-axis sensitivity

发布时间：2020-06-12

发表刊物：IEEE Transactions on Components, Packaging and Manufacturing Technology

ISSN号： 2156-3950

是否译文：否

发表时间：2018-08-01

论文类型：期刊论文

上一条：Development of a Polyimide/SiC-Whisker/Nano-Particles composite with high thermal conductivity and low coefficient of thermal expansion as dielectric layer for interposer application

下一条：A contact-enhanced MEMS inertial switch with electrostatic force assistance and multi-step pulling action for prolonging contact time

沪ICP备05052060 版权所有©上海交通大学

访问人数： | 开通时间：--

最近更新时间：--