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微平面弹簧刚度测试平台的研发-2012/04/01
2021/07/18
微结构三维几何参数标准装置-2013/06/01
2021/07/18
微机械电磁继电器动致锁定机理及其应用基础研究-2015/12/01
2021/07/18
金属基复合柔性衬底成型与敏感单元异质集成技术-2023/09/01
2021/06/05
基于多弹簧-质量系统的步进吸合静电锁定MEMS振动阈值传感器研究-2023/12/01
2020/05/07
具有接触增强效果的MEMS惯性开关设计开发与加工制作, 自然科学-2019/04/01
2020/05/07
上海市非硅微納集成制造专业技术服务平台-2020/03/01
2020/05/07
基于MEMS技术的人体平衡能力评估与训练系统的研究与应用-2019/12/01
2020/05/07
静电锁定MEMS惯性振动阈值传感器研究（教育部装备预研联合基金-青年人才）, 自然科学-2017/12/01
2020/05/07
基于双自由度高阶共振模态的大扫描角MEMS单光纤医用内窥镜的研究-2019/12/01
2020/05/07
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